固定式三氟化氮檢測報警器是微電子等行業(yè)用來檢測環(huán)境中的三氟化氮氣體濃度的儀器，三氟化氮常溫下為無色氣體，不溶于水、是一種強氧化劑，在微電子行業(yè)中用作等離子蝕刻氣體，也可用作高能燃料。三氟化氮有毒，在使用時需要注意監(jiān)測環(huán)境中的三氟化氮濃度變化，一旦發(fā)生泄漏報警器能在第一時間發(fā)出報警信號。

產(chǎn)品技術參數(shù)

檢測氣體：三氟化氮NF3

產(chǎn)品型號：ERUN-PG51-NF3

分辨率：0.01ppm

檢測原理：電化學、催化燃燒、紅外等

檢測精度：≤±3%F.S；重復性：≤±2%

線性度：≤±2%；不確定性：≤±2%

響應時間：T90≤20秒；恢復時間：≤30秒

信號輸出：總線制RS485信號，分線制4~20mA；選配：0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、無線傳輸、網(wǎng)絡傳輸、短信報警

工作電壓：12~30VDC直流電，單臺設備的標準電源為24V、1A或大于1A直流電

報警方式：默認1路，可選2路無源接觸點（干節(jié)點）輸出，三級報警，報警點可設置現(xiàn)場聲光報警

防護等級：IP65防水防塵

防爆功能：ExdllCT6Gb；隔爆型

界面語言：默認中文，中英文可選

顯示屏：1.7高清彩屏

顯示方式：單通道顯示

安裝方式：管道式、壁掛式

工作方式：在線擴散式/管道式檢測。選配：泵吸式/流通式

報警模式：低報警、高報警、區(qū)間報警

校準功能：零點自動跟蹤、目標點多級校準

誤操作識別：自動識別并阻止

數(shù)據(jù)恢復：全部恢復，選擇性恢復（濃度、報警、全部）

日志記錄：校準日志、維修日志、故障記錄、故障解決對策

工作環(huán)境：溫度-40℃~+70℃、濕度0-99%RH

重量：1.5KG

預處理（選配）：常溫高濕預處理系統(tǒng)、高溫高濕度預處理系統(tǒng)、高溫高濕高粉塵預處理系統(tǒng)

此款儀器采用固定安裝的方式、通過傳感器將氣體濃度信號轉化為電信號，內(nèi)部傳感器采用國際進口品牌，響應速度快、檢測結果準確、壽命長、性能穩(wěn)定。高清彩色顯示屏，能夠清晰準確顯示濃度、時間等參數(shù)。

三氟化氮會屬低毒物質，對眼睛、皮膚、黏膜等都有刺激性，吸入高濃度的三氟化氮會引起頭痛、嘔吐或者腹瀉、長期吸入低濃度的三氟化氮還會損傷牙齒和骨骼。危險性比較強，在三氟化氮的存儲庫房、使用和生產(chǎn)車間可使用固定式三氟化氮檢測報警器來監(jiān)測濃度變化。